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半導體材料工藝

半導體材料工藝

  • 分類:公司新聞
  • 作者:
  • 來源:
  • 發布時間:2019-07-25
  • 訪問量:7

【概要描述】半導體材料特性參數的大小與存在于材料中的雜質原子和晶體缺陷有很大關系。

半導體材料工藝

【概要描述】半導體材料特性參數的大小與存在于材料中的雜質原子和晶體缺陷有很大關系。

  • 分類:公司新聞
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  • 發布時間:2019-07-25
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詳情

  半導體材料特性參數的大小與存在于材料中的雜質原子和晶體缺陷有很大關系。例如電阻率因雜質原子的類型和數量的不同而可能作大范圍的變化,而載流子遷移率和非平衡載流子壽命

  半導體材料一般隨雜質原子和晶體缺陷的增加而減小。另一方面,半導體材料的各種半導體性質又離不開各種雜質原子的作用。而對于晶體缺陷,除了在一般情況下要盡可能減少和消除外,有的情況下也希望控制在一定的水平,甚至當已經存在缺陷時可以經過適當的處理而加以利用。為了要達到對半導體材料的雜質原子和晶體缺陷這種既要限制又要利用的目的,需要發展一套制備合乎要求的半導體材料的方法,即所謂半導體材料工藝。這些工藝大致可概括為提純、單晶制備和雜質與缺陷控制。

  半導體材料的提純“主要是除去材料中的雜質。提純方法可分化學法和物理法?;瘜W提純是把材料制成某種中間化合物以便系統地除去某些雜質,最后再把材料(元素)從某種容易分解的化合物中分離出來。物理提純常用的是區域熔煉技術,即將半導體材料鑄成錠條,從錠條的一端開始形成一定長度的熔化區域。利用雜質在凝固過程中的分凝現象,當此熔區從一端至另一端重復移動多次后,雜質富集于錠條的兩端。去掉兩端的材料,剩下的即為具有較高純度的材料(見區熔法晶體生長)。此外還有真空蒸發、真空蒸餾等物理方法。鍺、硅是能夠得到的純度最高的半導體材料,其主要雜質原子所占比例可以小于百億分之一。

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